沈阳仪表科学研究院

传感器国家工程研究中心简介传感器国家工程研究中心是我国一*的从事传感器技术工程化的*研究机构。1995年国家计委计科技（1995）1779号文批准，依托沈阳仪表科学研究院（原沈阳仪器仪表工艺研究所）承担“传感器国家工程研究中心”建设项目的实施。历时7年建设，2002年通过国家计委验收。传感器国家工程研究中心总投资6858万元，其中世行贷款470万美圆。新增程控化学刻蚀等设备仪器90多台套，进口离子注入机等精密设备仪器70多台套。“硅基力敏传感器中试生产线”是全国一*一条完整地包括了从力敏传感器芯片生产平面工艺和微机械加工到传感器的封装、补偿、筛选、测试等后部技术装备的*生产线，可以在直径4寸硅园片上，研制和加工压阻式、电容式MEMS力敏芯片和微结构、硅光电阻芯片等。大部分设备是1998年后购置的，功能和性能为国际*水平。 [详细介绍]